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大塚OPTM-OPTM-蘇州大塚電子有限公司

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發(fā)布時間:2020-11-03 10:13  

大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢!


彩色抗蝕劑(RGB)的薄膜厚度測量[FE - 0003]

液晶顯示器的結(jié)構(gòu)通常如右圖所示。 CF在一個像素中具有RGB,大塚OPTM,并且它是非常精細的微小圖案。 在CF膜形成方法中,主流是采用應(yīng)用在玻璃的整個表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑,通過光刻對其進行曝光和顯影,OPTM膜厚儀,并且在每個RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下,OPTM,如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定,將導(dǎo)致圖案變形和作為濾色器導(dǎo)致顏色變化,因此管理膜厚度值很重要。





膜厚測試儀波譜校準(zhǔn)   不關(guān)機狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機3小時以上再次重開機必做,目的讓儀器進行自我補償調(diào)整。首先點擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”,然后將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵)。待膜厚測試儀器自動完成每一步,紅色STOP鍵會轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功”字樣的對話框時,點擊“確定”即可。


頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高i精度絕i對反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))

1點1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外)

區(qū)域傳感器的安全機制

易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進行光學(xué)常數(shù)分析

獨立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測量項目:

i對反射率測量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))



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