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光刻機(jī)和刻蝕機(jī)的區(qū)別:
刻蝕相對(duì)光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒(méi)有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,鹽水電解腐蝕蝕刻機(jī),然后用紫外線隔著光刻板對(duì)晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對(duì)晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。
無(wú)論是高精密蝕刻機(jī)還是片式蝕刻機(jī),還是輥?zhàn)游g刻機(jī),穩(wěn)壓泵輸出功率一定要大,才可以處理蝕刻速度更快,表面整平的難題。另外還一定要保證蝕刻機(jī)總體系統(tǒng)軟件不可以要走電現(xiàn)像,云南蝕刻機(jī),在蝕刻段如果有走電的現(xiàn)像,一是給作業(yè)者產(chǎn)生不安全的要素,還有一個(gè)就是說(shuō)在半蝕刻表面會(huì)出現(xiàn)凸凹不平,全自動(dòng)金屬蝕刻機(jī),等于電解法效用會(huì)另外開(kāi)展,不繡鋼板蝕刻機(jī),非常是是間越長(zhǎng),主要表現(xiàn)的現(xiàn)像會(huì)更顯著,有較強(qiáng)的不銹鋼拋光感。這類現(xiàn)像小編在304不銹鋼板模板中發(fā)覺(jué)此難題。
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