用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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檢漏儀的保養(yǎng)注意事項

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

檢漏儀的維護(hù)保養(yǎng)常識及優(yōu)點

一、檢漏儀常規(guī)的維護(hù)：

適當(dāng)?shù)木S護(hù)您的檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：

1、探頭清潔：利用附送的防護(hù)罩防止灰塵、油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護(hù)罩確無灰塵或油脂。

2、拉下防護(hù)罩；

3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護(hù)罩；

4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔，嚴(yán)禁用像、、礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。

5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān)，氦檢設(shè)備哪家好，因此較難預(yù)計準(zhǔn)確的更換時間。當(dāng)在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時，應(yīng)更換探頭，具體探頭步驟是如下：

（1）確認(rèn)本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)

（2）逆時針旋下舊探頭

（3）順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。

二、檢漏儀的優(yōu)點

1、多種語言和計量單位選擇，可選中文界面。

2、180度 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點)的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)。

3、新的電子線路及信號處理設(shè)計。

4、可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個量程。

5、快速清氦和快速響應(yīng)。

6、測試口耐壓高，可實現(xiàn)大漏檢漏。

氦檢設(shè)備哪家好由深圳銳誠真空技術(shù)有限公司提供。深圳銳誠真空技術(shù)有限公司位于深圳市光明新區(qū)新湖街道樓村第一工業(yè)區(qū)木墩路20號1樓102。在市場經(jīng)濟的浪潮中拼博和發(fā)展，目前銳誠真空在高壓開關(guān)中享有良好的聲譽。銳誠真空取得商盟認(rèn)證，我們的服務(wù)和管理水平也達(dá)到了一個新的高度。銳誠真空全體員工愿與各界有識之士共同發(fā)展，共創(chuàng)美好未來。