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無(wú)塵凈化車間結(jié)構(gòu)
它由風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是三個(gè)基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出通道,利用高速的潔凈氣流,迅速清除人體的塵埃及細(xì)菌。
無(wú)塵凈化車間作用
用于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)在大氣中的潔凈度、溫濕度,使產(chǎn)品在良好的環(huán)境中生產(chǎn)、制造。按照國(guó)際慣例,根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)單位上。哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以凈化車間無(wú)塵是必然的要求。
每立方米小于0.3微米粒徑,數(shù)量控制在3500個(gè)以下,達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的1級(jí)。目前無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的要求高于1級(jí),主要在等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量,控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這就是1K級(jí)別。
無(wú)塵凈化車間凈化需哪些設(shè)備
,進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)。新風(fēng)過(guò)濾箱,中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/三個(gè)過(guò)濾段)末端有送風(fēng)口。有必要裝凈化增壓箱。
第二,回風(fēng)系統(tǒng)?;仫L(fēng)口,過(guò)濾初效器,中效回風(fēng)箱。
第三,緩沖區(qū)。緩沖區(qū)門安裝電子互鎖,潔凈儲(chǔ)衣柜,空氣清新機(jī)。
第四,風(fēng)淋室、貨淋室、傳遞窗,主要傳遞小物品。
第五,局部需要達(dá)到10-1000級(jí)安裝工作臺(tái),層流罩(FFU),潔凈棚(可移式凈化工作棚),自凈器。測(cè)潔凈室潔凈度用,激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器
儀器剖析試驗(yàn)室規(guī)劃規(guī)劃要求:
1、儀器剖析試驗(yàn)室應(yīng)遠(yuǎn)離振動(dòng)源安置,儀器剖析試驗(yàn)室一般都要求防振、 防塵、溫度濕度恒定,應(yīng)滿足儀器產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)提出的要求。
2、關(guān)于不需用水的儀器,盡量遠(yuǎn)離水源。
3、精細(xì)試驗(yàn)室的儀器臺(tái)一般要求寬度 約800~1000mm ,高度760~840mm,長(zhǎng)按儀器長(zhǎng)短而定,化學(xué)實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì),可選用L型或一字型 ,儀器臺(tái)離墻要留出500~800mm的通道,根據(jù)需求設(shè)置電源插座、網(wǎng)絡(luò)接口、氣體出口等;一般儀器室的儀器臺(tái)可按一般試驗(yàn)邊臺(tái)或中央臺(tái)規(guī)劃并供給滿足電源插座即可,儀器臺(tái)需安定,可選用全鋼結(jié)構(gòu)或鋼木結(jié)構(gòu)及防靜電臺(tái)面等。
4、同類儀器盡量會(huì)集,需求供 氣的儀器盡量靠近氣瓶間。
如何才能做好實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)呢?主要有以下幾大要點(diǎn),南京博泰小編會(huì)為大家予以總結(jié)。
關(guān)鍵1:換氣次數(shù)的挑選
關(guān)于實(shí)驗(yàn)室換氣次數(shù)的挑選,室內(nèi)換氣量為6次/h-8次/h,且全體換氣次數(shù)由從局部排風(fēng)設(shè)備或其他房間排風(fēng)所排出的總風(fēng)量、帶走房間熱負(fù)荷所需的制冷風(fēng)量、換氣次數(shù)需求這3方面風(fēng)量來(lái)確認(rèn)。
注意,假如實(shí)驗(yàn)室裝置了發(fā)生高熱負(fù)荷的分析設(shè)備,那么在實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)規(guī)劃時(shí)要相應(yīng)增大換氣量。具體來(lái)說(shuō),通風(fēng)柜操作口吸風(fēng)面速度的計(jì)算要參閱輕、中度危害或有風(fēng)險(xiǎn)的有害物質(zhì),吸風(fēng)面速度為0.5m/s。
關(guān)鍵2:排風(fēng)與送風(fēng)形式
關(guān)于實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)與送風(fēng)形式,當(dāng)室內(nèi)排風(fēng)量偏大,主張裝置室外新風(fēng)補(bǔ)風(fēng)體系,并計(jì)入新風(fēng)負(fù)荷。注意,所有排風(fēng)設(shè)備要合用一個(gè)排風(fēng)體系,且實(shí)驗(yàn)室有接連運(yùn)用排風(fēng)體系的需求,則主張裝置送風(fēng)體系。
實(shí)驗(yàn)室內(nèi)排出的氣體要排出室外才行,且除非室內(nèi)有潔凈需求,否則要堅(jiān)持其關(guān)于相鄰區(qū)域?yàn)樨?fù)壓。100%全新風(fēng)送風(fēng)體系的挑選也是實(shí)驗(yàn)室風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)的重要一環(huán),該體系合適通風(fēng)柜環(huán)境,一般實(shí)驗(yàn)室沒(méi)必要運(yùn)用。
關(guān)鍵3:房間壓差
關(guān)于實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)規(guī)劃中的房間壓差,除非實(shí)驗(yàn)室的潔凈度需求較高,否則要堅(jiān)持相對(duì)負(fù)壓。不過(guò)要注意,在房間壓差方面具體要根據(jù)實(shí)際情況來(lái)定。
實(shí)驗(yàn)室的房間壓差什么時(shí)候有必要為正壓?什么時(shí)候又有必要為負(fù)壓呢。假如室內(nèi)有嚴(yán)格的濕度需求,那么要保持正壓。假如室內(nèi)有防止有毒、腐蝕、高溫氣體或揮發(fā)物分散至其他房間的需求,那么要保持負(fù)壓。
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