氦質(zhì)譜檢漏儀

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。

2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)0點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜擇功能，一個(gè)按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測(cè)量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。秀長(zhǎng)的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理，采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場(chǎng)和全自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換，具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：

1.檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；

2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護(hù)模式，充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測(cè)功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時(shí)，達(dá)不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動(dòng)報(bào)警提示。

5.多種計(jì)量單位選擇，檢測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)更新，直接輸出生成Excel表格。

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)

以下是深圳銳誠(chéng)真空為您一起分享的內(nèi)容，深圳銳誠(chéng)真空**生產(chǎn)氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用，但是在長(zhǎng)時(shí)間的使用過程中常常會(huì)出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。

2 本底信號(hào)不穩(wěn)定

1）本底信號(hào)過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號(hào)過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動(dòng)

分子泵不啟動(dòng)，主要有檢查供電和前級(jí)真空是否正常（較常見的是前級(jí)真空機(jī)械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動(dòng)）?；蛘呤欠肿颖帽旧硪蛘駝?dòng)和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級(jí)機(jī)械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會(huì)使油色變黑，水汽會(huì)使油色呈現(xiàn)乳白色，檢漏儀多少錢，都將導(dǎo)致機(jī)械泵工作不正常。另外過低的溫度會(huì)使機(jī)械泵油粘稠度增加無法啟動(dòng)，過高的溫度也會(huì)使機(jī)械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機(jī)械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

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