大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

膜厚儀是一種比較精密的監(jiān)測(cè)設(shè)備，它在平時(shí)的使用中對(duì)于精準(zhǔn)度的要求很高，OPTM設(shè)備，但是還是會(huì)有誤差的現(xiàn)象發(fā)生，除了儀器本身的一些故障以外，環(huán)境因素也是造成誤差的一大“元兇”。

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考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時(shí)，OPTM廠家，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合，模擬為“粗糙層”，OPTM，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。

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測(cè)量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。



 

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