真空設備檢漏與維修

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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旋片真空泵

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旋片真空泵主要由泵體(靜子)和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2~3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下，旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸，將泵腔分成兩個或幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉子順時針方向旋轉時，與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大，腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時，與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉子連續(xù)轉動，泵便不斷抽氣。

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真空設備氦檢漏

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氦分子在質譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質量及粘滯系數(shù)小，因而極易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無du、無危險，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質譜檢漏儀（調(diào)整到僅對氦起反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質譜檢漏儀立即有所反應，從而可知漏孔所在位置及檢測漏氣量大小。

泄漏和密封是相對而言的，真空檢漏設備價格，氦質譜檢漏儀檢測被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來表示，其計算方法原理如下：

漏率的定義：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp為壓強的變化量；V為容器的體積；Δt為時間的變化量。

因此漏率可簡單理解為：單位時間內(nèi)，單位體積容器，壓強的變化。

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