凈化車間凈化工程設(shè)計(jì)要點(diǎn)

凈化車間空調(diào)系統(tǒng)的選擇、凈化車間潔凈度與換氣次數(shù)，廠房結(jié)構(gòu)布局設(shè)計(jì)方案確定，施工材料質(zhì)量的選用，室內(nèi)送風(fēng)壓力和氣流控制，添加輔助檢測設(shè)備以保證控制參數(shù)的穩(wěn)定，控制人和物的流動及處理以達(dá)到凈化車間的潔凈要求，提供照明及給排水等裝置，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì)，同時不得有悖于空氣凈化系統(tǒng)，要確定設(shè)計(jì)方案，必須先對房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮，發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。

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凈化車間等級劃分

1級：級的凈化車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè)，對集成電路的精度要求為亞微米。

10級： 十級的凈化車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。

100級：百級凈化車間并非無菌室，百級無塵車間對“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要嚴(yán)格，100級凈化車間室可用于藥用工業(yè)的無菌制造工藝等，這一凈化車間大量應(yīng)用于植如體內(nèi)物品的制造，外?？剖中g(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對細(xì)菌受感特別敏感的病者的隔離用藥，如像骨頭移植病者術(shù)后的隔離檢查。

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怎么控制凈化車間的污染？

 潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。凈化車間凈化工程具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。想了解更多相關(guān)信息，可以咨詢昭明凈化機(jī)電工程有限公司，謝謝！