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為了避免羅茨泵的誤操作,一般多設(shè)有旁路溢流閥。根據(jù)對(duì)羅茨泵的特殊需要,也有將油的齒輪箱,軸承等部件與泵腔做成分離式結(jié)構(gòu)的。在羅茨泵的壓縮過(guò)程中產(chǎn)生的熱量被傳到轉(zhuǎn)子和泵體上。轉(zhuǎn)子很難將熱量傳至泵外,而泵體的熱量很容易被散失到周?chē)髿庵?。因而轉(zhuǎn)子與泵體之間就出現(xiàn)了溫差。加劇了轉(zhuǎn)子的熱膨脹。當(dāng)泵負(fù)荷增大時(shí),轉(zhuǎn)子膨脹會(huì)消失間隙,而被卡死。因此出現(xiàn)了氣冷式羅茨泵,用冷卻的氣體或大氣去直接冷卻熱態(tài)的轉(zhuǎn)子,從而減少了轉(zhuǎn)子與泵殼間的溫差,提高了羅茨泵的抗熱能力。這種氣冷式羅茨泵可用于高壓差和高壓縮比的情況下工作,這種泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,冷卻器與泵的出口相聯(lián),便于維修和更換。由于散熱均勻,轉(zhuǎn)子和泵體之間的間隙仍可保持很小,有利于泵容積效率的提高。羅茨泵在真空泵站的運(yùn)行中,提高了整個(gè)泵站的工作效率。廈門(mén)羅茨泵(羅茨真空泵)哪里有
羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵。在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱(chēng)的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn),由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子彼此無(wú)接觸,轉(zhuǎn)子與泵腔壁也無(wú)接觸,其間通常有0.15~1.0mm的間隙,泵腔靠間隙來(lái)密封。由于羅茨泵泵腔內(nèi)無(wú)摩擦,轉(zhuǎn)子可高速運(yùn)轉(zhuǎn),一般為1500~3000r/min,而且不必用潤(rùn)滑油,可實(shí)現(xiàn)無(wú)油清潔的抽氣過(guò)程。泵的潤(rùn)滑部位***于軸承和齒輪,以及動(dòng)密封處。泵沒(méi)有往復(fù)運(yùn)動(dòng)部件,故可實(shí)現(xiàn)良好的動(dòng)平衡。因而,羅茨泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速高,尺寸小可獲得大的抽速。目前國(guó)內(nèi)外的羅茨泵,多數(shù)為臥式結(jié)構(gòu),泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下,這種臥式結(jié)構(gòu)重心低,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。羅茨泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度的齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步旋轉(zhuǎn)的。泵的傳動(dòng)多為直聯(lián)式的,大泵則有皮帶傳動(dòng)的。電動(dòng)機(jī)與傳動(dòng)齒輪,多設(shè)在轉(zhuǎn)子軸的兩側(cè),安裝拆卸方便。主動(dòng)軸傳遞的扭矩較大,軸要有足夠的強(qiáng)度和剛度,軸與轉(zhuǎn)子要固結(jié)牢靠。羅茨泵的密封很關(guān)鍵,主動(dòng)軸外伸部分、兩個(gè)轉(zhuǎn)子的軸承與泵腔之間設(shè)有動(dòng)密封,泵腔與各端蓋設(shè)有靜密封。廈門(mén)羅茨泵(羅茨真空泵)哪里有羅茨泵在真空冶煉過(guò)程中,確保了金屬材料的純凈度和質(zhì)量。
金屬腐蝕的形態(tài),可分為***(均勻)腐蝕和局部腐蝕兩大類(lèi)。前者較均勻的發(fā)生在設(shè)備的全部表面,后者只是發(fā)生在局部。例如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕破裂、腐蝕疲勞、氫腐蝕破裂、磨損腐蝕、脫層腐蝕等。采用美嘉華高分子復(fù)合材料實(shí)施表面有機(jī)涂層防腐是當(dāng)前行之有效的防腐蝕措施之一。表面粘涂保護(hù)可廣泛應(yīng)用于磨蝕、氣蝕、腐蝕部位的修復(fù)和預(yù)保護(hù)涂層。其具有良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能。與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補(bǔ)相比,具有施工簡(jiǎn)便、成本低、安全性能,修復(fù)效果好的特點(diǎn)。
羅茨泵的結(jié)構(gòu)如圖15所示。在泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)做彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙。由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故中、高真空羅茨泵需要前級(jí)泵。因此,羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空度。圖15:羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖羅茨泵的工作原理既具有容積泵的工作原理,又有分子泵的抽氣效應(yīng)。圖16為羅茨泵的工作原理圖。羅茨泵在航天、半導(dǎo)體制造等高科技領(lǐng)域,發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn),被抽氣體從泵進(jìn)氣口吸入到下轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間 V0 內(nèi),吸氣后 V0 空間是全封閉狀態(tài)。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng),封閉的 V0 空間與排氣口相通,由于排氣側(cè)氣體壓力較高,引起一部分氣體反沖過(guò)來(lái),使 V0 空間內(nèi)的氣體壓力突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí), V0 空間內(nèi)原來(lái)封入的氣體連同反沖的氣體一起被排向泵外。這時(shí),上轉(zhuǎn)子又從泵入口封入 V0 體積的氣體。由于泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),使兩個(gè)轉(zhuǎn)子不停地形成封閉空間 V0 又不停地將封閉空間璣內(nèi)的氣體排出泵外,從而實(shí)現(xiàn)了抽氣的目的。羅茨泵在真空擴(kuò)散泵的前級(jí),提高了擴(kuò)散泵的抽氣效率。廈門(mén)羅茨泵(羅茨真空泵)哪里有
羅茨泵的高轉(zhuǎn)速設(shè)計(jì),縮短了達(dá)到所需真空度的時(shí)間。廈門(mén)羅茨泵(羅茨真空泵)哪里有
羅茨泵是一種常用于工業(yè)領(lǐng)域的容積式真空泵,它通過(guò)兩個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)來(lái)傳遞氣體,從而實(shí)現(xiàn)抽氣的目的。羅茨泵的型號(hào)多樣,適用于不同的工作條件和要求。常見(jiàn)羅茨泵型號(hào)Agilent RPS-1401/301 系列羅茨泵機(jī)組:這款羅茨泵具有大容量和耐用性,適用于需要比較高潔凈度的應(yīng)用,如大面積鍍膜和真空冶金。 普發(fā)真空多級(jí)羅茨泵:包括A 100L、A 100L ES、A 200L、A 124H、A 604H 系列,這些泵適用于半導(dǎo)體和涂層行業(yè)中的多種應(yīng)用。 ZJ型羅茨真空泵:這是一種單級(jí)或雙級(jí)的羅茨泵,具有較高的抽氣速率和較低的極限壓力,適用于化工、制藥等行業(yè)。 普諾克PNK MR系列羅茨真空泵:包括PNK MR 0100C、PNK MR 0300C、PNK MR 0500C等型號(hào),這些泵具有較高的抽氣速率和較低的極限壓力,適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)生產(chǎn)中的真空應(yīng)用。廈門(mén)羅茨泵(羅茨真空泵)哪里有
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