配管的準備工作

(1)無論多大壓力、何種介質及何種用途的配管，下料時均不得采用氧、乙i炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。

(2)管子切口應當與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應在安裝前清洗，管道工程性能，清洗前先應研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應當重新試壓。

(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經(jīng)閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設計要求。

(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應當將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門、附件等，應當嚴格禁油，并在安裝前按有關要求嚴格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質。用于輸送高純氣體的金屬管道材質主要有:

1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

2)銅管。在半導體企業(yè)中，個別生產(chǎn)工藝如GaAs的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。

特種氣體管道流程

其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收

1.預制間的選擇

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標準，預制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，管道工程哪家好，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。

但我們在實際的施工中，大宗特氣項目很少，一般都是簡單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng)，為了節(jié)約成本和資金，在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工，管道工程廠家，除作業(yè)人員和檢察人員外，應禁止無關人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設一個簡單的預制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。

2.主要的施工機具

特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機(GF鋸)、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮i刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、其他輔助工具。

實驗室氣體的供氣方式

　　采用中壓供氣，二級減壓的供氣方式，氣瓶氣體壓力為12.5MPa，經(jīng)一級減壓后為1MPa（管路壓力1MPa），送至用氣點，江蘇管道工程，經(jīng)二級減壓后為0.3——0.5 MPa（根據(jù)儀器需求）送至儀器，供氣壓力比較穩(wěn)定。

　　實驗室氣體管道的材質要求

　?。?）對所有氣體無滲透性

　?。?）吸附效應很少

　　（3）對所輸送的氣體呈化學惰性

　?。?）能快速使輸送的氣體達到平衡

　　注：化學物質腐蝕影響等級 A—沒有影響 B—輕微影響 C—中度影響 D—嚴重影響

　　316不銹鋼是繼304不銹鋼之后，第二個得到廣泛應用的鋼種，具有較好的耐腐蝕性，耐高溫，強度優(yōu)i秀等特點，所以我們一直用    316無縫不銹鋼管。

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