氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場合包括微電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì)影響傳感器的測量精度和數(shù)值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶在使用時(shí)，工業(yè)流量控制器報(bào)價(jià)，對(duì)零點(diǎn)漂移的數(shù)值有疑問，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)會(huì)有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計(jì)仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現(xiàn)大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開各種閥門，全部排空氣體管路，防止設(shè)備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計(jì)零漂問題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調(diào)整，二是需要和工藝配合來解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)的零點(diǎn)漂移，出現(xiàn)這種漂移時(shí)，要關(guān)閉流量控制器或流量計(jì)前段的電磁閥（流量控制器不能當(dāng)做截止閥來使用），使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當(dāng)位置設(shè)置排氣口，消除管道內(nèi)的壓力和氣流，從而達(dá)到消除零點(diǎn)漂移。

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過濾器

使用氣體必須純凈干燥，工業(yè)流量控制器公司，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計(jì)。

2 使用腐蝕性氣體

流量計(jì)通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2)，工業(yè)流量控制器，SUS417J1（00Cr30Mo2）， 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。

3 安裝位置問題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥， 不是截止閥， 不能當(dāng)截止閥使用， 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長期工作后， 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi)，工業(yè)流量控制器哪家好， 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%， 則應(yīng)進(jìn)行維修。

5 標(biāo)定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí)，可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。

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