氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過(guò)分流器通道，其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因?yàn)榉至髌魍ǖ赖奶厥饨Y(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過(guò)毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)輸入電路板，空氣質(zhì)量流量計(jì)哪家好，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測(cè)信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。

氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體， 但是要注意， 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤， 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高，空氣質(zhì)量流量計(jì)廠家， 通常要求不高的場(chǎng)合，空氣質(zhì)量流量計(jì)， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體，空氣質(zhì)量流量計(jì)公司， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來(lái)控制氣體流量的，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）是用來(lái)測(cè)量氣體流量，如果你需要檢測(cè)氣體流量需要用MFM。  當(dāng)然MFC還是有檢測(cè)方法的，如果通過(guò)氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設(shè)定一個(gè)大流量，MFC會(huì)反饋一個(gè)值，這個(gè)值就是氣體的流量。  如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測(cè)出來(lái)了，因?yàn)镸FC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒(méi)辦法測(cè)量了，就需要抵壓損的MFM。

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