噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質譜檢漏儀應用不銹鋼保溫器皿：真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。

氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。氦質譜檢漏主要領域：電力工業(yè)——高壓開關、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；

檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應，汽車行業(yè)氦檢解決方案，對于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應是相當?shù)撵`敏。用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。

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