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廣州潽拓光電科技有限公司——inficon檢漏儀售后服務 英??嫡婵沼嫳pB(yǎng)
壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運行。當開關S打到手動位置時,壓力控制儀相當于一個手動微調真空閥,進行手動壓力調節(jié);當開關S打到自動位置時,壓力控制儀構成一個閉環(huán)的自動控制系統(tǒng),可實現(xiàn)壓力定值自動調節(jié)其調節(jié)過程是:首先由給定單元設定希望控制的壓力值,根據(jù)具體的被控對象的特性,選擇好PID調節(jié)單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數(shù)。英??嫡婵沼嫳pB(yǎng)
當真空測量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號時,壓力節(jié)單元可將壓力設定值與壓力測量值進行比較,并將差值進行運算(例如P、PI、PID);然后通過驅動電路,驅動真空調節(jié)閥,改變進入真空室的氣體流量,從而使真空室內的壓力維持在給定值上。
當然,這是理想的控制狀態(tài),實際上,由于壓力控制儀的壓力調節(jié)單元的特性所致,被控壓力只能是趨近于給定壓力值,并與給定壓力值保持允許的偏差范圍內。這個偏差值的大小,即表示壓力控制儀壓力控制精度的高低。英??嫡婵沼嫳pB(yǎng)
廣州潽拓光電科技有限公司——inficon檢漏儀售后服務 英福康真空計保養(yǎng)
廣州潽拓光電科技有限公司——inficon檢漏儀售后服務皮拉尼真空計維修
真空計(Vacuum Gauge),又稱規(guī),是測量真空度或氣壓的儀器.一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進壓的測量.在科研和工業(yè)生產中廣泛使用.按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能,利用氣體動力學和利用帶電粒子效應的真空計,inficon檢漏儀售后服務,皮拉尼真空計維修
皮拉尼真空計:它的原理是加熱電阻絲,使電阻絲升溫至需要的工作溫度。由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時會帶走能量,電阻絲的溫度會發(fā)生變化。熱電阻絲的能量損失與其周圍的氣體濃度以及氣體成份成比例關系。由此又衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī),種是溫度穩(wěn)定,測量電壓變化;第二種是電壓穩(wěn)定,測量溫度變化。對電阻絲在不影響精度與速度的情況下加以保護,能夠大大延長電阻絲的使用壽命,皮拉尼真空計維修
真空法氦質譜檢漏:
采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現(xiàn)被檢產品泄漏量測量。氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性:①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。
廣州潽拓光電科技有限公司——inficon檢漏儀售后服務 皮拉尼真空計維修
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不同氣體對皮拉尼真空計的影響
不同氣體對皮拉尼真空計的影響因為熱量的傳遞不僅僅與壓強有相互關系,同時與氣體的摩爾量和分子結構有關系。不同的氣體會導致壓力測量時得出不同的結果。
在一般情況下,當現(xiàn)有的氣體的原子或者分子越大,熱傳導的能力或者效率越低。
在壓力測量中,除少數(shù)直接測量外,絕大多數(shù)是間接測量。它首先在被測氣體中引起某些物理現(xiàn)象,然后在此過程中測量與壓力有關的物理量,然后嘗試確定壓力值。這是真空測量的特點,也會引起一些問題。
皮拉尼真空計用范圍
化學工業(yè)
電子與微電子領域
氣相沉積
電子束焊接
真空冶金
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