其中主要應用于半導體集成電路的消費制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體，特種氣體有哪些，其中常用的有20~30種。在集成電路制造應用方面詳細包括集成電路芯片制程、化學氣相堆積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用。

　　在太陽能電池應用方面詳細包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池消費工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應用；在化合物半導體應用方面詳細包括化合物半導體的應用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應用。

6. 有專人負責管理， 驗收核實，相門區(qū)特種氣體， 登記發(fā)放做到有帳可查。7. 不管是倉庫還是使用場所， 空瓶與實瓶都應分開放置，特種氣體價格， 并有明顯標志。毒性氣體氣瓶和瓶內(nèi)氣體相互接觸能引起燃燒、， 產(chǎn)生毒物的氣瓶應分室存放， 并在附近設置防毒用具、滅火器材。8. 放置氣瓶時應配戴好瓶帽。立放時要妥善固定， 防止倒瓶碰壞瓶閥。9. 氣瓶露天使用時應加以防護， 防止生銹和侵蝕， 庫存瓶要定期檢查， 色標、合格證、泄漏等如不清楚、有疑問， 應及時和廠家聯(lián)系， 分析確認后才可使用。

標準氣體的制備過程

無論是采用壓力法，體積法或稱量法制備瓶裝標準氣體，特種氣體壓縮機， 均需通過下列過程實現(xiàn)。充裝----滾動混勻----分析檢測----給出量值(檢驗報告或標準物質(zhì)證書)。通過壓力法/體積法或稱量法實現(xiàn)混合氣體充裝已不再是難題， 只要具備的壓力表和的天平、充裝是很容易實現(xiàn)的。如何使標準氣體量值準確和有效， 是所有標準氣體制造商和研究機構(gòu)面臨的任務。

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