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氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道,其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因?yàn)榉至髌魍ǖ赖奶厥饨Y(jié)構(gòu),工業(yè)質(zhì)量控制器,可以實(shí)現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫,里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,工業(yè)質(zhì)量控制器廠家,使得流量檢測(cè)信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等,這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。
氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),工業(yè)質(zhì)量控制器哪家好,γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。
氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測(cè)量和操縱不因溫度或負(fù)載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對(duì)大部分流量控制系統(tǒng)來講,難以防止系統(tǒng)的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉(zhuǎn)變。針對(duì)一般的流量計(jì),工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對(duì)質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器,工業(yè)質(zhì)量控制器公司,則一般可以忽略。
(2) 測(cè)量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以規(guī)范電子信號(hào)輸出。那樣非常容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)據(jù)顯示﹑積累流量﹑數(shù)據(jù)信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器來講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統(tǒng)。通常, 模擬的MFC/MFM數(shù)據(jù)信號(hào)為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數(shù)據(jù)串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開展自動(dòng)控制系統(tǒng)。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對(duì)許多加工工藝全過程的流量操縱﹑針對(duì)不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
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