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泛半導(dǎo)體工藝伴隨許多種特殊制程,會(huì)使用到大量超高純(ppt 級(jí)別)的干濕化學(xué)品,這是完成工藝成果的重要介質(zhì),太陽(yáng)能光伏硅片清洗設(shè)備價(jià)格,其特點(diǎn)是昂貴并伴隨排放。在集成電路領(lǐng)域,高純工藝系統(tǒng)主要包括高純特氣系統(tǒng)、大宗氣體系統(tǒng)、高純化學(xué)品系統(tǒng)、研磨液供應(yīng)及回收系統(tǒng)、前驅(qū)體工藝介質(zhì)系統(tǒng)等。其中,各類(lèi)高純氣體系統(tǒng)主要服務(wù)于幾大干法工藝設(shè)備,各類(lèi)高純化學(xué)品主要服務(wù)于濕法工藝設(shè)備。
隨著半導(dǎo)體芯片工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)入 28 納米、14 納米等更等級(jí),工藝流程的延長(zhǎng)且越趨復(fù)雜,產(chǎn)線(xiàn)成品率也會(huì)隨之下降。造成這種現(xiàn)象的一個(gè)原因就是制程對(duì)雜質(zhì)的敏感度更高,小尺寸污染物的清洗更困難。解決的方法主要是增加清洗步驟。每個(gè)晶片在整個(gè)制造過(guò)程中需要甚至超過(guò) 200 道清洗步驟,晶圓清洗變得更加復(fù)雜、重要及富有挑戰(zhàn)性。
全自動(dòng)鋼網(wǎng)清洗機(jī)是一種柜型立式的清洗機(jī),不銹鋼外觀(guān)精巧大方,能夠清洗帶有錫膏或者紅膠的網(wǎng)版(銅版),并且不會(huì)對(duì)鋼網(wǎng)形成清洗上的損傷。由于自動(dòng)網(wǎng)版清洗機(jī)運(yùn)用的清洗機(jī)技術(shù)是超聲波清洗。
此外,還加裝了噴淋安裝,在超聲波和噴淋系統(tǒng)的雙重作用下,能夠十分有效的將網(wǎng)版上的錫膏高壓沖洗潔凈,宿遷太陽(yáng)能光伏硅片清洗設(shè)備,并且還會(huì)自動(dòng)枯燥,不會(huì)在網(wǎng)版上留下水漬痕跡,運(yùn)用潔白無(wú)瑕的清潔布悄悄往網(wǎng)版上一擦,太陽(yáng)能光伏硅片清洗設(shè)備選擇,也不看見(jiàn)白布上有殘留物或者灰塵,這也能夠闡明,清洗機(jī)的清洗效果是值得我們信任的!
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