為什么零部件需要去除油污:減少部件表面上的離子雜質(zhì)。滿足容器排氣（outgassing)性能的測試 (由第三方實驗室檢測).此測試檢測出了在真空下嵌入金屬表面的有機(jī)材料的數(shù)量和成分。如果測試中的數(shù)量太大，則意味著終的加工設(shè)備很難將容器真空至全真空狀態(tài)。815 GD 在這些測試中都有的表現(xiàn)， 主要表現(xiàn)為的清潔能力以及測試中未發(fā)現(xiàn)清洗劑的殘留。

泛半導(dǎo)體工藝伴隨許多種特殊制程，會使用到大量超高純（ppt 級別）的干濕化學(xué)品，這是完成工藝成果的重要介質(zhì)，太陽能光伏硅片清洗設(shè)備價格，其特點是昂貴并伴隨排放。在集成電路領(lǐng)域，高純工藝系統(tǒng)主要包括高純特氣系統(tǒng)、大宗氣體系統(tǒng)、高純化學(xué)品系統(tǒng)、研磨液供應(yīng)及回收系統(tǒng)、前驅(qū)體工藝介質(zhì)系統(tǒng)等。其中，太陽能光伏硅片清洗設(shè)備供應(yīng)商，各類高純氣體系統(tǒng)主要服務(wù)于幾大干法工藝設(shè)備，宿遷太陽能光伏硅片清洗設(shè)備，各類高純化學(xué)品主要服務(wù)于濕法工藝設(shè)備。

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