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FOUP清洗機是用于清洗半導體制造中的FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)的設備。FOUP是用于存放半導體晶圓的封閉式容器,在半導體制造過程中起到了關鍵的作用。FOUP清洗機的主要功能是清洗FOUP,確保FOUP內(nèi)部的潔凈度,以保證半導體晶圓在制造過程中不受到污染。功能配置:管路配置:壓力檢測系統(tǒng)、流量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)、漏液檢測系統(tǒng)加熱系統(tǒng):閉環(huán)溫控、超溫切斷、微曲線加熱算法、宕機應急閉環(huán)等系統(tǒng)真空與N平衡系統(tǒng):真空度檢測監(jiān)控保壓系統(tǒng)、N平配比凈化系統(tǒng)NPurge系統(tǒng):溫濕度高速檢測系統(tǒng)、平衡FOUP壓力與溫濕度算法Robot安全控制系統(tǒng):設置空間安全虛擬圍欄、曲線算法路徑空FOUP檢測系統(tǒng)。芯夢設備具有高精度生產(chǎn)功能,確保產(chǎn)品質(zhì)量!吉林全自動清洗機設備展會
全自動FOUP清洗機是現(xiàn)代半導體生產(chǎn)線上的明星設備。它以性能和高效的清洗能力,贏得了眾多企業(yè)的青睞。這款清洗機采用了模塊化設計,便于維護和升級。各個模塊之間協(xié)同工作,確保清洗過程的流暢和穩(wěn)定。其獨特的風刀干燥系統(tǒng),能夠快速吹干FOUP表面的水分,防止水漬殘留。在實際使用中,一家國際的半導體制造商使用我們的清洗機后,不僅提高了產(chǎn)品質(zhì)量,還降低了設備的維護成本。由于模塊化設計,當某個模塊出現(xiàn)故障時,可以快速更換,減少了設備停機時間,提高了生產(chǎn)效率。河南國內(nèi)清洗機設備展會選擇我司設備,讓你的生產(chǎn)更加靈活、多樣化!
FOUP清洗機特性:可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes及其他可裝載于清洗籃之制品。伺服馬達驅(qū)動,設有扭力偵測安全機構,防止人為誤操作造成損壞及危險。具備停機自動歸位功能,方便裝載清洗制品。旋干制程中除IR干燥外,運用氣流干燥,可加速去除較大水滴,增進干燥效果;進而提升效率。應用范圍:該設備主要用于半導體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。分類:全自動FOUP清洗機、半自動foup清洗機。4寸~12寸全尺寸兼容,快速實現(xiàn)干進干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,更大吞吐量
FOUP 處理中心作為專門為 FOUP 清洗和維護而設立的**設施,是半導體行業(yè)的重要保障。在這個繁忙的中心里,F(xiàn)OUP 清洗機無疑是當之無愧的主角。它承載著為多個半導體制造廠商或供應商服務的重任,面對海量的 FOUP 清洗任務,從不畏懼。其***的性能,就像一臺高效運轉的精密機器,能迅速而準確地處理大量 FOUP。每一次清洗都嚴格把關,確保 FOUP 的潔凈度達到比較高標準。它的存在,讓 FOUP 在完成清洗后,就像被賦予了新的生命,重新回到半導體制造的舞臺上,繼續(xù)履行它們的使命。這種高效且高質(zhì)量的清洗能力,使得 FOUP 處理中心能夠穩(wěn)定運行,為整個半導體產(chǎn)業(yè)鏈的順暢銜接發(fā)揮了關鍵作用。我司設備具有高精度特點,確保生產(chǎn)質(zhì)量!
半自動FOUP清洗機具有以下特點:人工操作:半自動FOUP清洗機需要一定程度上的人工操作。例如,上料和卸料通常需要操作員手動放置和取出FOUP。這些操作可能涉及到打開和關閉清洗機的門、調(diào)整夾持裝置等。相比全自動清洗機,半自動清洗機需要更多的人工參與。靈活性:半自動FOUP清洗機通常具有較高的靈活性。操作員可以根據(jù)需要進行調(diào)整和設置,例如清洗程序、清洗介質(zhì)、時間和溫度等。這使得半自動清洗機適用于處理不同類型的FOUP和不同的清洗需求。監(jiān)控和控制:半自動FOUP清洗機通常配備了監(jiān)控和控制系統(tǒng),用于檢測和調(diào)整清洗過程中的參數(shù)。這可以確保清洗的準確性和一致性。較低的成本:相對于全自動FOUP清洗機,半自動清洗機通常具有更低的成本。這是因為半自動設備不需要具備完全自動化的功能,如自動上料和卸料等。因此,半自動FOUP清洗機可以是一種經(jīng)濟實惠的選擇,適用于預算有限的情況。適用于小規(guī)模需求:由于靈活性和較低的成本,半自動小規(guī)模生產(chǎn)。FOUP清洗機通常適用于處理小規(guī)模的FOUP清洗需求。它們可以在相對較小的空間內(nèi)進行操作,適用于小規(guī)模生產(chǎn)。選擇我司設備,讓你的生產(chǎn)更加智能、自動化!河南國內(nèi)清洗機設備展會
芯夢半導體專注品質(zhì),從不將就!吉林全自動清洗機設備展會
當我們把目光投向?qū)嶒炇液脱邪l(fā)環(huán)境時,F(xiàn)OUP 清洗機同樣展現(xiàn)出非凡的價值。在這里,研究人員如同探索宇宙奧秘的宇航員,對實驗樣品的要求極高。FOUP 清洗機就像是他們的秘密武器,能為實驗樣品清洗出干凈無瑕的表面,為下一步實驗做好完美準備。而且,它的作用遠不止于此。它還是研發(fā)新清洗方法和工藝的理想平臺,研究人員可以在它的幫助下大膽嘗試、不斷創(chuàng)新。通過 FOUP 清洗機,新的清洗思路得以實踐,效果和可行性得到驗證。它就像一座橋梁,連接著理論與實踐,推動著實驗室和研發(fā)環(huán)境向著更高的清潔標準和更先進的技術邁進,助力科研人員在探索之路上披荊斬棘。吉林全自動清洗機設備展會
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