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氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道,其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因?yàn)榉至髌魍ǖ赖奶厥饨Y(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫,里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號(hào)輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,使得流量檢測信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等,數(shù)字流量控制器公司,這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。
什么是氣體質(zhì)量流量控制器?
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計(jì)的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,即客戶可按照需求設(shè)定流量,數(shù)字流量控制器哪家好,MFC會(huì)自動(dòng)地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變,也不會(huì)使其偏移設(shè)定值。簡易地說,質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩(wěn)流設(shè)備,數(shù)字流量控制器, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設(shè)置或與電子計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對(duì)管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,數(shù)字流量控制器多少錢,如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對(duì)MFC進(jìn)行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
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