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質量流量計
流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償),將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器,放大后的值和通過顯示屏設置的流量值進行比較,用比較值控制調節(jié)閥開度,本設備從比較到控制的時間非常短,滿足了及時性和準確性的要求。本設計對產(chǎn)品的安裝角度和位置不敏感,無需反復校準調零,
本設備可以通過觸摸屏設置氣體總量,在設定流量下通過時間參數(shù)自動計算氣體總量,當氣體總量達到設定值時,調節(jié)閥立即關閉。
本設備可以通過觸摸屏設置氣體種類,質量流量控制器原理,氣體的種類必須和所測氣體一致,每一種氣體的各項性能不盡相同,選對氣體種類是進行流量和總量控制的前提。
質量流量計產(chǎn)品對使用氣體的要求
要求氣體必須潔凈且沒有顆粒物,沒有液體。建議客戶在上游氣路中安裝<30um的過濾器和干燥劑。輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準,不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力,也不能低于流量控制的較低要求。用戶有責任按照相關安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效,由于不正確的使用所導致的損害本公司不承擔任何責任。穩(wěn)壓電源必須按照要求配置,否則由此造成的損失本公司不承擔。氣路的連接,必須仔細的安裝密封管件,確保所有的密封管件經(jīng)過單獨檢查并且沒有劃痕。
質量流量計產(chǎn)品原理
常用的質量流量計/控制器的種類按工作原理分主要有兩種:熱式和層流式。熱式質量流量計/控制器的工作原理為:利用氣體流過形成的上、下游溫度差來測量質量流量,溫度差的大小與質量流量的大小有關,溫差越大,質量流量越大。
層流式質量流量計/控制器的工作原理為:利用氣體流過形成的上、下游壓力差來測量質量流量壓力差的大小與體積流量的高低有關,配合氣體的密度計算質量流量。
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