真空設(shè)備檢漏

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強(qiáng)將隨時間而上升。用真空計(jì)每隔一定時間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng)，可得出壓強(qiáng)/時間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強(qiáng)不隨時間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強(qiáng)期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強(qiáng)上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。

氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚獾挠猛?/strong>

電子器件生產(chǎn)工藝中的應(yīng)用在電子器件生產(chǎn)工藝中，為減少電能消耗，降低成本，都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間，以使用氮?dú)浠旌蠚鉃?。用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法，因?yàn)檫x用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。若從大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因?yàn)橐旱獊碓床煌?，大多?shù)質(zhì)量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來源于化肥廠，供應(yīng)上較嚴(yán)重，故成本也較高。

氫氣

氫氣是性氣體。在密閉容器中，當(dāng)氫氣與空氣混合，氫的含量為4％～75％，即形成炸的混合氣體。我國發(fā)電機(jī)運(yùn)行規(guī)程規(guī)定：“一般要求發(fā)電機(jī)內(nèi)氫氣純度保持在96％以上。低于此值時，應(yīng)進(jìn)行排污”

大容量氫冷發(fā)電機(jī)內(nèi)要求保持高純度的氧氣，其主要目的是提高發(fā)電的效率，從經(jīng)濟(jì)方面考慮。因?yàn)闅錃饣烊肟諝饣蚣兌认陆禃r，環(huán)保柜氦測漏設(shè)備，混合氣體的密度隨氫氣純度的下降而增大，使發(fā)電機(jī)的通風(fēng)摩擦損耗也隨著氫氣純度的下降而上升。據(jù)美國GE公司介紹，一臺運(yùn)行氫壓為0.5MPa、容量為907MW的氫冷發(fā)電機(jī)，其氫氣純度從98％降到95％時，摩擦相和通風(fēng)損耗大約增加32％，即相當(dāng)于損失685kW。一般情況下，當(dāng)機(jī)殼內(nèi)的氫氣壓力不變時，氫氣純度每降低1％，其通風(fēng)摩擦損耗約增加11％。

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