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氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿量程值; 若高過0.3MPa, 有可能在關閉狀態(tài)下仍有氣體通過,即電磁閥漏氣??蛻魬肕FC時, 無論客戶工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi), 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
什么是氣體質(zhì)量流量控制器?
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,氣體流量控制廠家,即客戶可按照需求設定流量,MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設定值上,即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變,也不會使其偏移設定值。簡易地說,質(zhì)量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設備, 是一個可以手動式設置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流設備。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會阻塞傳感器和分流器, 導致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進到MFC, 一旦有液體進入到MFC內(nèi)部會導致無法控制,所以建議在MFC進氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,氣體流量控制,等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時不按安全性標準實際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進行通電預熱,保證MFC在不通氣時,瞬時流量處于0的位置,如果不通氣時,氣體流量控制公司,瞬時流量顯示有一定的數(shù)值,氣體流量控制報價,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對MFC進行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
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