微泰，超高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設(shè)備上。期特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：CF、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：銅墊圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 150 °C、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。真空閘閥對(duì)于隔離不同的真空室、控制工藝過程中的氣流以及在不影響真空環(huán)境的情況下促進(jìn)維護(hù)或維修很重要。低真空閘閥角控制閥

微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作。一、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動(dòng)方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。二、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力。三、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。轉(zhuǎn)移閘閥ALUMINUM GATE VALVE閘閥體內(nèi)設(shè)一個(gè)與介質(zhì)流向成垂直方向的平面閘板，靠這一閘板的升降來開啟或關(guān)閉介質(zhì)的通路。

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案，真空插板閥品牌—微泰?？刂葡到y(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥、多位置閘閥使用氣動(dòng)控制操作。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。

微泰，專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體業(yè)績。

高壓閘閥結(jié)構(gòu)簡單，制造和維修比較方便。工作行程小，啟閉時(shí)間短。密封性好，密封面間磨擦力小，壽命較長。

插板閥應(yīng)用范圍廣泛，主要包括以下領(lǐng)域：1.化工行業(yè)：用于管道、容器等設(shè)備的介質(zhì)控制，如石油、天然氣、化工產(chǎn)品等。2.礦山行業(yè)：用于礦井通風(fēng)、排水系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。3.食品行業(yè)：用于食品生產(chǎn)、加工過程中的介質(zhì)控制，保證食品安全。4.冶金行業(yè)：用于高溫、高壓、腐蝕性介質(zhì)的控制。5.紡織行業(yè)：用于織物生產(chǎn)過程中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。6.造紙行業(yè)：用于造紙過程中介質(zhì)的調(diào)節(jié)和控制。7.水處理行業(yè)：用于污水處理、供水系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。8.熱力行業(yè)：用于火力發(fā)電廠、供熱系統(tǒng)中介質(zhì)的調(diào)節(jié)和控制。9.建筑行業(yè)：用于建筑給排水、供暖、空調(diào)系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。10.其他行業(yè)：如環(huán)保、交通、能源等領(lǐng)域。閘閥高度大，啟閉時(shí)間長。閘板的啟閉行程較大，升降是通過螺桿進(jìn)行的。多位閘閥角控制閥

為特定的真空系統(tǒng)和工藝選擇適當(dāng)尺寸和類型的真空閘閥對(duì)于確保高效運(yùn)行和可靠的真空完整性至關(guān)重要。低真空閘閥角控制閥

閘閥是一種用于控制流體流動(dòng)的閥門，通常用于管道中，以實(shí)現(xiàn)流體的開啟、關(guān)閉或調(diào)節(jié)流量。它的工作原理是通過旋轉(zhuǎn)或升降閘板來截?cái)嗷驅(qū)б黧w流動(dòng)。根據(jù)不同的應(yīng)用場景，閘閥可以分為多種類型，如手動(dòng)閘閥、電動(dòng)閘閥、氣動(dòng)閘閥等。插板閥是一種用于控制流體介質(zhì)的流動(dòng)方向的閥門，其主要特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、啟閉迅速、密封性能好，廣泛應(yīng)用于石油、化工、水處理等領(lǐng)域。插板閥是一種用于控制流體流動(dòng)的閥門，廣泛應(yīng)用于管道系統(tǒng)中，以下是其一些基本應(yīng)用：1.化工行業(yè)：在化工生產(chǎn)過程中，插板閥用于控制介質(zhì)的輸送，實(shí)現(xiàn)管道的啟閉。2.污水處理：在污水處理系統(tǒng)中，插板閥用于調(diào)節(jié)水質(zhì)和流量，保證污水處理效果。3.水電行業(yè)：在水電站中，插板閥用于調(diào)節(jié)水流量，實(shí)現(xiàn)水輪機(jī)的啟動(dòng)和停止。4.燃?xì)庑袠I(yè)：在燃?xì)廨斉湎到y(tǒng)中，插板閥用于控制燃?xì)獾妮斔秃头峙洹?.城市供水：在城市供水系統(tǒng)中，插板閥用于調(diào)節(jié)水壓和水流量，保證居民生活用水。6.工業(yè)生產(chǎn)：在各類工業(yè)生產(chǎn)過程中，插板閥用于控制物料輸送，提高生產(chǎn)效率。低真空閘閥角控制閥