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高純氙氣分享壓縮氣體、液化氣體都有熱膨脹的特性,尤其是液化氣體,嚴禁用任何手段給氣體加熱,避免高溫、陽光直射、儲存場所要陰涼要有通風設(shè)備,瓶裝壓縮氣體不能超壓充裝,液化氣體要嚴格按照充裝系數(shù)充裝,氣體的充裝量可在氣體出廠時附帶的合格證上查到。
氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置,氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無油,有毒氣體使用時不可放在屋內(nèi),要有專門的氣體放置區(qū),腐蝕性氣體要避免人員接觸,氣體儲存區(qū)要嚴禁明火、嚴禁吸煙。氣體和氧化性氣體使用時使用人員千萬不可自己混合,如需混合氣體需有技術(shù)條件的廠家來提供。
半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規(guī)模集成電路)級,VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。
近幾年來,智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解,我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展:國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,乙烯生產(chǎn),高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束,高純已成功打開。
電子氣體主要包括:、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.
其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。
高純氣 廠家分享分子篩空分制氮氣是以空氣為原料,以碳分子篩作為吸附劑,運用變壓吸附原理,乙烯廠家,利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法,湖南乙烯,通稱PSA(Pressure Swing Adsorption)制氮氣。此法是七十年代迅速發(fā)展起來的一種新的制氮技術(shù)。與傳統(tǒng)制氮法相比,它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產(chǎn)氣快(15~30分鐘)、能耗低,乙烯廠,產(chǎn)品純度可在較大范圍內(nèi)根據(jù)用戶需要進行調(diào)節(jié),操作維護方便、運行成本較低、裝置適應(yīng)性較強等特點,故在1000Nm3/h以下制氮設(shè)備中頗具競爭力,越來越得到中、小型氮氣用戶的歡迎,PSA制氮氣已成為中、小型氮氣用戶的shou選方法
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