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真空泵卡住無法啟動的處理方法
現(xiàn)在真空泵被廣泛的應(yīng)用于很多領(lǐng)域,循環(huán)水真空泵廠家,使用壽命長,投資成本低等優(yōu)點(diǎn),對于產(chǎn)品性能要求比較高,這對于施工的技術(shù)要求提高了。下面咱們一起了解下關(guān)于真空泵卡住無法啟動的處理方法有哪些吧。
真空泵使用過程中經(jīng)常卡住,為了避免這個問題的發(fā)生,真空泵水垢多了會卡住泵無法正常使用,還會造成機(jī)封和軸承的損壞。通過清理水垢,更換機(jī)封,軸承,閥板,調(diào)整間隙后該真空泵可以正常使用了,循環(huán)水真空泵報價,抽氣能力也大大提高甚至超過剛買來時的性能。
真空泵分子泵
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,循環(huán)水真空泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。
真空泵直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,循環(huán)水真空泵公司,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
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