旋轉(zhuǎn)噴淋清洗是浸入型清洗的變型。系統(tǒng)中一般包括自動(dòng)配液系統(tǒng)、清洗腔體、廢液回收系統(tǒng)。

噴淋清洗在一個(gè)密封的工作腔內(nèi)一次完成化學(xué)清洗、去離子水沖洗、旋轉(zhuǎn)甩干等過(guò)程，減少了在每一步清洗過(guò)程中由于人為操作因素造成的影響。在噴淋清洗中由于旋轉(zhuǎn)和噴淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均勻，秦皇島單工位噴淋清洗機(jī)定做，同時(shí)，接觸到硅片表面的溶液永遠(yuǎn)是新鮮的，手動(dòng)單工位噴淋清洗機(jī)定做，這樣就可以做到通過(guò)工藝時(shí)間設(shè)置，控制硅片的清洗腐蝕效果，實(shí)現(xiàn)很好的一致性。密封的工作腔可以隔絕化學(xué)液的揮發(fā)，減少溶液的損耗以及溶液蒸氣對(duì)人體和環(huán)境的危害。各系統(tǒng)分別貯于不同的化學(xué)試劑，在使用時(shí)到達(dá)噴口之前才混合，使其保持鮮，以發(fā)揮潛力，這樣在清洗時(shí)會(huì)反應(yīng)快。用N2噴時(shí)使液體通過(guò)很小的噴口，使其形成很細(xì)的霧狀，至硅片表面達(dá)到更好的清洗目的。

高壓噴淋清洗機(jī)

概述

為各企業(yè)量身定制非標(biāo)高壓噴淋清洗機(jī)，高壓噴淋清洗線(xiàn)，使用單相380V電源，全自動(dòng)單工位噴淋清洗機(jī)定做，不間斷工作。適用于各個(gè)行業(yè)的拉伸件、壓鑄件清洗作業(yè)?？梢约友b電加熱系統(tǒng)，可以設(shè)置恒溫裝置，廣泛用于：水槽行業(yè)、五金制品行業(yè)、行業(yè)、汽車(chē)零件行，手動(dòng)單工位噴淋清洗機(jī)定做，電飯煲行業(yè)、成本低廉。高壓噴淋清洗機(jī)特點(diǎn)編輯1.速度快，效果統(tǒng)一，內(nèi)槽和外槽全不銹鋼。2.具有清洗液噴洗、清水噴淋漂洗、風(fēng)機(jī)吹水、熱風(fēng)吹干等功能的新穎連續(xù)式清洗設(shè)備。3.儀器工作時(shí)間，溫度，功率(可調(diào))。4.它對(duì)生產(chǎn)效率大大提高，節(jié)約成本。

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少，對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越，對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

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