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使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對MFC進(jìn)行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。
氣體質(zhì)量流量控制器顯示方式有哪些
1、 分體二次數(shù)顯儀表。采用按鍵式的操作方式,測量的精度高,多款外形尺寸可選,雙四位的LED顯示,支持電流、電壓的輸入方式,可帶多個(gè)控制點(diǎn)、多窗口顯示,適用于流量等過程量的監(jiān)測,電子流量控制器公司,是一款非常高的產(chǎn)品。
2、 本體觸摸按鍵顯示。在流量計(jì)本體即可進(jìn)行流量大小的調(diào)節(jié)與顯示,電子流量控制器報(bào)價(jià),除了具有精度等級高,線性精度好以外,操作簡單、便攜也是本產(chǎn)品的一大主要特點(diǎn)。
3、 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式,適合多氣路以及產(chǎn)品的集成,一鍵啟動(dòng),人機(jī)界面,電子流量控制器,具有靈敏的反應(yīng)速度、易于交流、堅(jiān)固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前便捷、簡單、自然的一種人機(jī)交互方式,用戶只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標(biāo)或文字就能操作,給人們的生活帶來了很大的方便。
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