增強(qiáng)型磁控陰極弧：陰極弧技術(shù)是在真空條件下，通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài)，從而完成薄膜材料的沉積。增強(qiáng)型磁控陰極弧利用電磁場(chǎng)的共同作用，將靶材表面的電弧加以有效地控制，家具鍍鈦廠家電話，使材料的離化率更高，薄膜性能更加優(yōu)異。

　　過濾陰極?。哼^濾陰極電弧(FCA )配有的電磁過濾系統(tǒng)，杞縣家具鍍鈦廠家，可將離子源產(chǎn)生的等離子體中的宏觀粒子、離子團(tuán)過濾干凈，經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為，家具鍍鈦廠家價(jià)格，并且可以過濾掉大顆粒， 因此制備的薄膜非常致密和平整光滑，具有抗腐蝕性能好，與機(jī)體的結(jié)合力很強(qiáng)。

靶材承受的功率密度是有限的.靶面溫度過高會(huì)導(dǎo)致靶材熔化或引起弧光放電.在直接水冷的情況下，金屬靶材的靶功率密度允許值為10~30W/cm2.根據(jù)選定的靶電壓和允許的靶功率密度，即可確定靶電流密度.

降低Ar壓強(qiáng)有利于提高鍍膜速率，還有利于提高膜層結(jié)合力和膜層致密度.磁控濺射的Ar壓強(qiáng)通常選為0.5Pa，氣體放電的阻抗隨Ar壓強(qiáng)的降低而升高.磁控濺射時(shí)，家具鍍鈦廠家公司，可以適當(dāng)調(diào)節(jié)Ar壓強(qiáng)，

濺射鍍膜基本原理：充(Ar)氣的真空條件下，使氣進(jìn)行輝光放電，這時(shí)(Ar)原子電離成離子(Ar )，離子在電場(chǎng)力的作用下，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會(huì)被濺射出來而沉積到工件表面?！R射鍍膜中的入射離子，一般采用輝光放電獲得，在l0-2Pa～10Pa范圍，所以濺射出來的粒子在飛向基體過程中，易和真空室中的氣體分子發(fā)生碰撞，使運(yùn)動(dòng)方向隨機(jī)，沉積的膜易于均勻。


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