干泵;國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

真空泵組閥片的作用：閥片其實對于真空泵機組的運行起到了很大的作用，如果閥片受損就會嚴重影響機組的正常運轉情況，所以這就需要對閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運行過程中會出現機械故障，為了預防這些可能出現的故障，首先保證設備的密封效果，一般會在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現的氣壓不穩(wěn)影響到內部壓縮作業(yè)效果的情況。

羅茨泵：從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領基礎上設法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。