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渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴(kuò)散泵高，英福康氦氣檢漏儀銷售，可達(dá)10-8 pa。英?？嫡婵毡镁S修

正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400HZ之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。英福康真空泵維修

半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。英福康真空泵維修

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 表征壓力控制儀的主要技術(shù)指標(biāo)是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應(yīng)時(shí)間等。它取決于其配用的真空規(guī)管、控制電路及真空調(diào)節(jié)閥的性能。壓力控制儀廣泛應(yīng)用于離子注入、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術(shù)及半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，其使用的環(huán)境條件與同類型的真空計(jì)大致相同。英?？嫡婵沼?jì)保養(yǎng)

皮拉尼型真空計(jì)利用惠斯通電橋 Wheatstone bridge 的補(bǔ)償原理，揭陽英?？岛鈾z漏儀，其中的一燈絲作為該電路的其中一個(gè)電阻。當(dāng)燈絲所在的氣體分子密度改變時(shí)，其熱導(dǎo)率會(huì)有所不同，因此燈絲所表現(xiàn)的溫度也會(huì)不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，固定電流以及固定溫度中以*后一種方法做敏感。值得注意的是，inficon英福康氦氣檢漏儀，不同氣體的熱導(dǎo)率不同，因此在測(cè)量的時(shí)候要刻度上需要校對(duì)。英福康真空計(jì)保養(yǎng)

2. 衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)

1) 穩(wěn)定溫度，測(cè)量施加的電壓變化等效測(cè)量真空度

2) 穩(wěn)定電壓，測(cè)量溫度變化等效測(cè)量真空度（熱偶規(guī)）

3. 氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):

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　冷陰極電離真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)一樣，是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，英?？岛鈾z漏儀維修，用放電電流做為真空度的測(cè)量，由電流表CB(做為真空度指示儀表，一般用量程為o～100μA)指示出來。所不同的在于電離源。鹵素檢漏儀維修

鹵素檢漏儀是因?yàn)榛瘜W(xué)元素周期表里面有鹵族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），簡(jiǎn)稱鹵素，通常所說的氟利昂含氟，檢漏儀又對(duì)氟起反應(yīng)，所以叫鹵素檢漏儀，精度*好應(yīng)該到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和臺(tái)式的。鹵素檢漏儀維修

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)、還有分子泵等組成，氦氣分子小，還比較活躍，屬于惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，檢漏*率高，氦氣質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)靈敏，精度高，可檢測(cè)到5×10-12Pa·m3/s。一般為臺(tái)式。鹵素檢漏儀維修

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