真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機(jī)，輔壓縮機(jī)，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計(jì)，同時，實(shí)施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進(jìn)行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開V2對氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報(bào)警，將：工作內(nèi)的氦氣回收，對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用，不宜過大(不超過41)，清潔泵也同樣。

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氦質(zhì)譜試漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器．其燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，六氟化硫空箱檢漏系統(tǒng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑

R ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑（cm） B ——磁場強(qiáng)度（T）

M/z ——離子的質(zhì)（量）／（電）荷比（正整數(shù)）

U ——離子加速電壓（V）

由上式可知，當(dāng) R、B 為定值時，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。

真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點(diǎn)

1、高壓氮?dú)鈴?qiáng)度檢測真空箱內(nèi)進(jìn)行，保護(hù)操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、。

3、檢漏儀的自動校準(zhǔn)功能以及自動校準(zhǔn)程序，可隨時校準(zhǔn)檢漏儀的靈敏度、準(zhǔn)確度。

4、特殊設(shè)計(jì)的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、技術(shù)的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運(yùn)行清晰明了，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時監(jiān)測及控制。

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