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實(shí)驗(yàn)表明,測(cè)量時(shí)不斷刮磨金屬表面,則金屬的電勢(shì)劇烈向負(fù)方向移動(dòng),也就是修整金屬表面可引起處在鈍態(tài)金屬的活化。即證明鈍化現(xiàn)象是一種界面現(xiàn)象。它是在一定條件下,鋁鈍化報(bào)價(jià),金屬與介質(zhì)相互接觸的界面上發(fā)生變化的。電化學(xué)鈍化是陽(yáng)極極化時(shí),金屬的電位發(fā)生變化而在電極表面上形成金屬氧化物或鹽類。
如采用某種能夠溶解金屬而與氧化膜不起作用的試劑,小心地溶解除去膜下的金屬,就可分離出能看見的鈍化膜,鋁鈍化哪家好,鈍化膜是怎樣形成的?當(dāng)金屬陽(yáng)極溶解時(shí),其周圍附近的溶液層成分發(fā)生了變化。一方面,鋁鈍化哪里有,溶解下來的金屬離子因擴(kuò)散速度不夠快(溶解速度快)而有所積累。
在氧化層中大部分的電荷效應(yīng)是直接或間接地同熱氧化的工藝過程有關(guān)的。在800—1250~C的溫度范圍內(nèi),用干氧、濕氧或水汽進(jìn)行的熱氧化過程有三個(gè)持續(xù)的階段,首先是環(huán)境氣氛中的氧進(jìn)入到已生成的氧化層中,無錫鋁鈍化,然后氧通過二氧化硅向內(nèi)部擴(kuò)散,當(dāng)它到達(dá)Si02-Si界面時(shí)就同硅發(fā)生反應(yīng),形成新的二氧化硅。這樣不斷發(fā)生著氧的進(jìn)入—擴(kuò)散—反應(yīng)過程,使靠近界面的硅不斷轉(zhuǎn)化為二氧化硅,氧化層就以一定的速率向硅片內(nèi)部生長(zhǎng)。
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