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如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)?
質(zhì)量流量控制器(MFC)是用來(lái)控制氣體流量的,工業(yè)質(zhì)量控制器,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)是用來(lái)測(cè)量氣體流量,如果你需要檢測(cè)氣體流量需要用MFM。 當(dāng)然MFC還是有檢測(cè)方法的,如果通過(guò)氣體流量比較大,壓比較大,可以為MFC設(shè)定一個(gè)大流量,工業(yè)質(zhì)量控制器公司,MFC會(huì)反饋一個(gè)值,這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小,壓力比較小MFC就不能測(cè)出來(lái)了,因?yàn)镸FC壓損通常是比較大的,如果氣體流量比較小,壓力比較小就沒(méi)辦法測(cè)量了,就需要抵壓損的MFM。
什么是氣體質(zhì)量流量控制器?
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計(jì)的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,工業(yè)質(zhì)量控制器廠家,即客戶可按照需求設(shè)定流量,MFC會(huì)自動(dòng)地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變,工業(yè)質(zhì)量控制器多少錢(qián),也不會(huì)使其偏移設(shè)定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩(wěn)流設(shè)備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設(shè)置或與電子計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。
氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò),即電磁閥漏氣。客戶應(yīng)用MFC時(shí), 無(wú)論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi), 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
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