通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器

在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，氣體質(zhì)量控制器廠家，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測(cè)定流量。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)

利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí)，氣體質(zhì)量控制器，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD，一只用來(lái)做熱源，一只用來(lái)測(cè)量流體溫度，當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過(guò)微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。

采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償，氣體質(zhì)量控制器多少錢，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制

氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1) 流量的測(cè)量和操縱不因溫度或負(fù)載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對(duì)大部分流量控制系統(tǒng)來(lái)講，難以防止系統(tǒng)的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉(zhuǎn)變。針對(duì)一般的流量計(jì)，工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差；針對(duì)質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略。 

(2) 測(cè)量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以規(guī)范電子信號(hào)輸出。那樣非常容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)據(jù)顯示﹑積累流量﹑數(shù)據(jù)信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器來(lái)講，還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統(tǒng)。通常， 模擬的MFC/MFM數(shù)據(jù)信號(hào)為0~ 5V或4~20mA， 數(shù)字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數(shù)據(jù)串行通信通信口， 能十分便捷地與電腦聯(lián)接， 開(kāi)展自動(dòng)控制系統(tǒng)。

 (3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量，這對(duì)許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對(duì)不一樣汽體的控制算法等尤其有效。

 (4) 應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?有很寬的壓力范疇，可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體（包含一些腐蝕汽體，如HCL）

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