怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，積算儀，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，積算儀價格，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國內(nèi)計量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）， 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI。

積算儀上電自檢

⑴按儀表的端子接線圖連接好儀表的電源、輸入、輸出、報警等接線。

 ⑵仔細(xì)檢查儀表的接線，正確無誤后方可打開電源。

⑶接通電源后儀表上排顯示HELO下排顯示PASS字樣表示儀表自檢通過，積算儀哪家好，如果顯示-HH-表示超量限或斷偶及熱阻開路，儀表采用人機對話形式來輸入?yún)?shù)，用各種提示符來提示應(yīng)輸入的數(shù)據(jù)。

積算儀總量顯示位數(shù)的差異 

流量顯示儀表的數(shù)碼顯示器件常用的有LED和LCD，其中LCD顯示的位數(shù)一般多達(dá)十進(jìn)制8位以上，而LED顯示一般為6～8位，在顯示總量時，有些用戶希望位數(shù)更長一些，于是有的制造商設(shè)計了分段顯示的方法，即總長12位（或16位）的十進(jìn)制總量顯示，面板上經(jīng)常顯示的是其低6位（或8位），按一下特殊定義的讀數(shù)鍵即顯示其高6位（或8位），同時給出高位段的標(biāo)志，這樣，若干年也不會積滿復(fù)零，從而彌補了位數(shù)欠長的缺陷。

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