六.自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)用于檢查微孔質(zhì)量

孔金屬化前激光鉆孔后，或金屬化孔后微孔是可以檢查的?？捉饘倩蠼?jīng)過(guò)AOI檢查，所獲取的信息證實(shí)孔內(nèi)鍍層覆蓋的完整性，而不是金屬與焊盤(pán)的結(jié)合狀態(tài)。如果首道工序要求進(jìn)行蝕刻，激光鉆孔前進(jìn)行銅導(dǎo)體進(jìn)行敷形掩膜，于是在鉆孔前需要對(duì)敷形掩膜附加檢查步驟。檢查鉆孔后的環(huán)氧鉆污，就是根據(jù)圖形暗(非反射)環(huán)形的工藝特性采用反射的模式進(jìn)行檢查。反射的中心目標(biāo)是帶有銅的焊盤(pán)，即微孔的底部。而墨暗的凹處是介質(zhì)材料本身的邊壁而不是金屬化鍍層，俯視到是外層發(fā)光的范圍內(nèi)表面是銅。

AOI系統(tǒng)組成

目前在產(chǎn)業(yè)界用得多的AOI系統(tǒng)是由相機(jī)、鏡頭、光源、計(jì)算機(jī)等通用器件集成的簡(jiǎn)單光學(xué)成像與處理系統(tǒng)。如圖1所示，光學(xué)檢測(cè)方案報(bào)價(jià)，在光源照明下利用相機(jī)直接成像，然后由計(jì)算機(jī)處理實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。這種簡(jiǎn)單系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是成本低、集成容易、技術(shù)門(mén)檻相對(duì)不高，在制造過(guò)程中能夠代替人工檢測(cè)，滿足多數(shù)場(chǎng)合的要求。

但對(duì)于大幅面或復(fù)雜結(jié)構(gòu)物體的視覺(jué)檢測(cè)，由于受到視場(chǎng)和分辨率（或精度）的相互制約，或生產(chǎn)節(jié)拍對(duì)檢測(cè)速度有特殊的要求，單相機(jī)組成的AOI系統(tǒng)有時(shí)難以勝任，因此可能需要有多個(gè)基本單元集成在一起，和平光學(xué)檢測(cè)方案，協(xié)同工作，共同完成高難度檢測(cè)任務(wù)。即采取一種多傳感器成像、高速分布式處理的AOI系統(tǒng)集成架構(gòu)。

傳統(tǒng)缺陷檢測(cè)方法為人工目視檢測(cè)法，目前在手機(jī)、平板顯示、太陽(yáng)能、鋰電池等諸多行業(yè)，光學(xué)檢測(cè)方案價(jià)格，仍然有大量的產(chǎn)業(yè)工人從事這項(xiàng)工作。這種人工視覺(jué)檢測(cè)方法需要在強(qiáng)光照明條件下進(jìn)行，不僅對(duì)檢測(cè)人員的眼睛傷害很大，且存在主觀性強(qiáng)和人眼空間、時(shí)間分辨率有限、檢測(cè)不確定性大、易產(chǎn)生歧義、效率低下等缺點(diǎn)，已很難滿足現(xiàn)代工業(yè)高速、高分辨率的檢測(cè)要求。

　　隨著電子技術(shù)、圖像傳感技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的快速發(fā)展，利用基于光學(xué)圖像傳感的表面缺陷自動(dòng)光學(xué)(視覺(jué))檢測(cè)技術(shù)取代人工目視檢測(cè)表面缺陷，已逐漸成為表面缺陷檢測(cè)的重要手段，因?yàn)檫@種方法具有自動(dòng)化、非接觸、速度快、精度高、穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。

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