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模式選擇：

通過切換，選擇濃度模式和流量模式兩種基本控制模式。

濃度模式：用戶根據(jù)自身配氣需求，直接在輸出設(shè)定中輸入所需輸出的氣體濃度，并點擊開始自動配出所需濃度氣體。

流量模式：

用戶通過每臺MFC的手動流量設(shè)定，自行控制內(nèi)部截止閥開關(guān)，進行自由設(shè)定，系統(tǒng)自動換算出當前輸出氣體濃度。、

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配氣儀原理

配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用的質(zhì)量流量控制器，控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮氣、純凈空氣等。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標氣。通過準確的設(shè)置，便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標準氣體。

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配氣儀介紹

目前市面上多見的有兩種原理的配氣儀，一種是三通電磁閥原理，另一種是質(zhì)量流量計原理。根據(jù)用戶需要可自行選擇。

利用單片機控制高速三通電磁閥，通過對兩路氣體通斷進行選擇，從而達到調(diào)節(jié)每一路氣體的采樣量，獲得設(shè)定濃度的氣體，從而實現(xiàn)氣體配比。

電磁閥原理的配氣儀的優(yōu)點是氣體適用范圍比較廣，氣體濃度配比儀廠家，精度高（可大1%），操作比較簡單，價格相對較低。常規(guī)氣體，無需經(jīng)過特殊設(shè)置或換算，就可以直接使用。對于氣體種類和所要配比的濃度，在儀器出廠前不需要調(diào)教。

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