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此裝置一方面采用的水霧式噴淋,摒棄了普通打水管水量大,易積水的缺點,另一方面以可移動小推車的形式,使用輕便牢靠水管與快速接頭,隨用隨收,靈活機動,解決了處理場場地水管布排困難的問題且不影響來往車輛。同時該裝置只需一人負責(zé)開啟與關(guān)閉,便可兼做其他工作,很大程度的減少了人工,也達到了全天降塵的效果?,F(xiàn)投入的八個噴淋點與購買廠家的防塵設(shè)備相比,總費用由數(shù)十萬元降到三千元,小發(fā)明,也能帶來大效果!目前,該裝置現(xiàn)已移交給鋼渣處理場投入使用,相應(yīng)的操作規(guī)定已制定好并補充到安環(huán)體系文件中。
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗是浸入型清洗的變型。系統(tǒng)中一般包括自動配液系統(tǒng)、清洗腔體、廢液回收系統(tǒng)。
噴淋清洗在一個密封的工作腔內(nèi)一次完成化學(xué)清洗、去離子水沖洗、旋轉(zhuǎn)甩干等過程,手動單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機廠家,減少了在每一步清洗過程中由于人為操作因素造成的影響。在噴淋清洗中由于旋轉(zhuǎn)和噴淋的效果,使得硅片表面的溶液更加均勻,同時,接觸到硅片表面的溶液永遠是新鮮的,這樣就可以做到通過工藝時間設(shè)置,控制硅片的清洗腐蝕效果,實現(xiàn)很好的一致性。密封的工作腔可以隔絕化學(xué)液的揮發(fā),減少溶液的損耗以及溶液蒸氣對人體和環(huán)境的危害。各系統(tǒng)分別貯于不同的化學(xué)試劑,在使用時到達噴口之前才混合,使其保持鮮,手動單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機廠家,以發(fā)揮潛力,這樣在清洗時會反應(yīng)快。用N2噴時使液體通過很小的噴口,使其形成很細的霧狀,全自動單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機廠家,至硅片表面達到更好的清洗目的。
常見問題
自噴清洗機的貯液箱,桓臺單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機廠家,在槽中沒有水或時,必須拆換,小心電源箱,恰當(dāng)實際操作及維修保養(yǎng)。1、自噴清洗機開啟時,標(biāo)示燈沒亮,水泵沒有起動。緣故:A.電源總開關(guān)毀壞,沒有開關(guān)電源鍵入。B.保險絲ACFU熔斷。C.自噴清洗機水位線不夠,全自動維護造成水泵起動不上。2、初洗槽,開啟加溫半小時上下,溫度都還沒上去。緣故:A.發(fā)燙管道掉下來。B.保險絲熔斷。C.加熱管燒毀,必須拆換后。
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