等離子拋光工藝屬于比較前沿的技術，和激光除銹一樣，電漿拋光加工，有著眾多優(yōu)勢。成本低、、無污染、無損傷、無結構限制等等，很大程度上代表著未來智造的方向。

等離子拋光技術是一種全新的新型拋光工藝技術，它主要是通過不銹鋼拋光技術發(fā)展而來的，是一種高科技的現(xiàn)代化技術?，F(xiàn)在的人們對于怎么將等離子拋光運用好這一問題十分關注，因為如果良好的運用這一技術，便可以讓我們的時間節(jié)約很好，茂名電漿拋光，并且成本也下降很多。

電漿拋光

等離子拋光的三個主要優(yōu)點是成本更低，該過程更環(huán)保，并且具有該技術獨有的表面下?lián)p傷去除效果。等離子拋光晶圓與CMP晶圓比較而言，一直到二極管和MOSFET器件生成，電漿拋光廠家，完整的晶圓電氣性能和良率結果已經(jīng)與CMP相當（圖1）。

等離子拋光劑不使用消耗性有毒漿料，因此避免了相關的處置問題和高用水量，消除這些工藝要求可以將運營成本降低多達85%。此外，該步驟上游的材料要求不需要改變，之后的工藝也看不到等離子拋光晶圓和CMP晶圓之間的差異。

電漿拋光

等離子拋光的工作原理

等離子也稱為物質(zhì)的第四態(tài)，是一種電磁氣態(tài)放電現(xiàn)象，使氣態(tài)粒子部分電離，這種被電離的氣體包括原子、分子、原子團、離子和電子。等離子就是在高溫高壓下，拋光劑水溶，電子會脫離原子核而跑出來，原子核就形成了一個帶正電的離子，當這些離子達到一定數(shù)量的時候可以成為等離子態(tài)，等離子態(tài)能量很大，當這些等離子和要拋光的物體摩擦時，頃刻間會使物體達到表面光亮的效果。

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拋光技術是金屬表面處理的關鍵技術之一，電漿拋光廠，拋光無論是在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)還是在電子數(shù)碼產(chǎn)業(yè)中都是不可或缺的生產(chǎn)步驟。拋光是對工件表面精加工的過程，經(jīng)過拋光工序，工件表面粗糙度降低，一般說來伴隨著光澤度的提高，工件拋光后其機械、物理及化學性能都有不同程度的改善。例如，粗糙度降低光潔度提高，耐腐蝕性提高，缺口敏感性降低，摩擦系數(shù)下降，磨損減少。

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