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氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn), 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效,還容易產(chǎn)生危險。
氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,工業(yè)質(zhì)量控制器公司, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過,即電磁閥漏氣??蛻魬?yīng)用MFC時, 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi), 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,工業(yè)質(zhì)量控制器哪家好,應(yīng)在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和溶劑氣體時,應(yīng)在定貨時聲明,使用特殊腐蝕性氣體,工業(yè)質(zhì)量控制器,所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
3 安裝位置問題
本控制器安裝時建議保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移,可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。
4 閥口密封問題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體,通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個截止閥,以保證工作安全。長期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi),工業(yè)質(zhì)量控制器報價, 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應(yīng)進(jìn)行維修。
5 標(biāo)定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定,需要在訂貨時與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時,可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。
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