如何正確使用氦氣檢漏設(shè)備？

檢漏試驗(yàn)中的可檢測(cè)泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關(guān)系，背景濃度越高，波動(dòng)越大。如果泄漏測(cè)試后泄漏檢測(cè)氣體排放到泄漏檢測(cè)區(qū)域，背景濃度將在整個(gè)工作日持續(xù)增加。此外，真空箱式氦測(cè)漏設(shè)備，在加注或排放過程中，確保沒有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。如果檢漏氣體泄漏氦和氫，它將像氣球一樣飛到檢漏區(qū)的室頂，并逐漸漂浮在整個(gè)檢漏區(qū)。因此，應(yīng)該為泄漏測(cè)試區(qū)域提供足夠的通風(fēng)。由于兩種泄漏檢測(cè)氣體都傾向于向上移動(dòng)，因此建議從底部輸入新鮮空氣，從頂部向外排放氣體。

真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，高壓柜氦測(cè)漏設(shè)備，防止氣體或液體在壓力的作用下，包膜式氦測(cè)漏設(shè)備，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/p>

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要行檢漏，氦測(cè)漏設(shè)備，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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真空設(shè)備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測(cè)的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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