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充入氣:在高真空的條件下充入適量的氣。
施加電壓:在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁)之間施加幾百K直流電壓,在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電。
電子碰撞與電離:電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與原子發(fā)生碰撞,LH300派瑞林鍍膜設備制造商,使氣發(fā)生電離(在高壓作用下Ar原子電離成為Ar 離子和電子)。
離子轟擊靶材:入射離子(Ar )在電場的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。
二次電子運動:產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E×B漂移,其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,中山LH300派瑞林鍍膜設備,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內,并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材。
在使用前,確保鍍膜材料表面干凈、無油污、塵?;蚱渌s質。這些雜質可能會影響鍍膜的質量和均勻性。
使用銅刷或研磨工具對材料進行打磨,去除表面的氧化物、揮發(fā)性有機物和水分等。
在進行鍍膜前,確保真空室內部干凈、無雜質。使用專門的真空泵將空氣抽空,以獲得一個高真空度的環(huán)境。
對真空室內的設備和配件進行清潔和處理,避免對鍍膜產生不良影響。
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