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在半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域,線鋸切片技術(shù),包括砂漿線鋸切片和金剛線鋸切片,已被成功應(yīng)用。這些技術(shù)通過金屬線帶動(dòng)磨?;蚬潭チT诰w材料上刻劃實(shí)現(xiàn)材料的去除。
盡管搜索結(jié)果中沒有具體提及線切割技術(shù)在全世界的分布地,但可以合理推斷,線切割技術(shù)在范圍內(nèi)的工業(yè)發(fā)達(dá)地區(qū),如北美、歐洲、日本、韓國以及中國等地區(qū)都有所分布和應(yīng)用。這些地區(qū)擁有的制造業(yè)和對(duì)精密加工技術(shù)的高需求,因此更可能采用線切割技術(shù)。
線切割加工,也被稱為線切割放電加工(Wire Electrical Discharge Machining, WEDM),東城線切割加工,是一種利用電火花放電原理對(duì)導(dǎo)電材料進(jìn)行切割的精密加工技術(shù)
線切割加工的精度:線切割有快走絲、中走絲和慢走絲三種類型,其中慢走絲的精度,能達(dá)到±0.005mm,表面粗糙度能達(dá)到Ra0.8。
影響線切割加工的因素:
脈沖電源的峰值電流、平均加工電流、脈沖電流上升速度、空載電壓和脈沖間隔都會(huì)影響切割速度。
電極絲材料、直徑、張力、走絲速度以及振動(dòng)都會(huì)對(duì)切割速度產(chǎn)生影響。
工作液的種類、壓力以及工件的材質(zhì)和厚度也是影響切割速度的重要因素。
線切割技術(shù)原理:線切割加工是通過電火花放電原理對(duì)零件進(jìn)行加工,使用金屬絲(如鉬絲或銅絲)作為工具電極,線切割電火花加工,利用火花放電對(duì)加工零件進(jìn)行切割。
線切割技術(shù)特點(diǎn):
加工中不存在顯著的機(jī)械切屑力,附近線切割加工在哪里,適合加工硬度和剛度各異的導(dǎo)電或半導(dǎo)電材料。
可以加工小孔和復(fù)雜形狀零件,但不適合加工盲孔。
電極絲損耗小,加工精度高。
加工產(chǎn)生的切縫窄,有利于材料的再利用。
工件材料過厚時(shí),工作液較難進(jìn)入放電間隙,可能影響加工精度和表面粗糙度。
加工過程中可能出現(xiàn)裂紋、變形等問題,需要適當(dāng)熱處理和粗加工以提高加工精度。
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