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我們知道,鐵、鋁在稀HNO3或稀H2SO4中能很快溶解,但在濃HNO3或濃H2SO4中溶解現(xiàn)象幾乎完全停止了,碳鋼通常很容易生銹,若在鋼中加入適量的Ni、Cr,就成為不銹鋼了。金屬或合金受一些因素影響,鈍化,化學(xué)穩(wěn)定性明顯增強(qiáng)的現(xiàn)象,稱為鈍化。由某些鈍化劑(化學(xué)藥品)所引起的金屬鈍化現(xiàn)象,稱為化學(xué)鈍化。
在氧化層中大部分的電荷效應(yīng)是直接或間接地同熱氧化的工藝過(guò)程有關(guān)的。在800—1250~C的溫度范圍內(nèi),用干氧、濕氧或水汽進(jìn)行的熱氧化過(guò)程有三個(gè)持續(xù)的階段,首先是環(huán)境氣氛中的氧進(jìn)入到已生成的氧化層中,然后氧通過(guò)二氧化硅向內(nèi)部擴(kuò)散,鈍化工藝,當(dāng)它到達(dá)Si02-Si界面時(shí)就同硅發(fā)生反應(yīng),鈍化處理,形成新的二氧化硅。這樣不斷發(fā)生著氧的進(jìn)入—擴(kuò)散—反應(yīng)過(guò)程,金屬鈍化,使靠近界面的硅不斷轉(zhuǎn)化為二氧化硅,氧化層就以一定的速率向硅片內(nèi)部生長(zhǎng)。
當(dāng)金屬溶解時(shí),處在鈍化條件下,在表面生成緊密的、覆蓋性良好的固態(tài)物質(zhì),這種物質(zhì)形成獨(dú)鈍化立的相,稱為鈍化膜或稱成相膜,此膜將金屬表面和溶液機(jī)械地隔離開(kāi),使金屬的溶解速度大大降低,而呈鈍態(tài)。實(shí)驗(yàn)證據(jù)是在某些鈍化的金屬表面上,可看到成相膜的存在,并能測(cè)其厚度和組成。
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