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氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚獾挠猛?/strong>
電子器件生產(chǎn)工藝中的應(yīng)用在電子器件生產(chǎn)工藝中,為減少電能消耗,降低成本,都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間,以使用氮?dú)浠旌蠚鉃?。用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法,因?yàn)檫x用了液化后再汽化的工藝,故其投資和成本均較高。若從大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮,其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣,因?yàn)橐旱獊碓床煌?,大多?shù)質(zhì)量較差,環(huán)保柜氦檢漏設(shè)備,其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外,液氮多來源于化肥廠,供應(yīng)上較嚴(yán)重,故成本也較高。
氫氣檢漏
油霧法
油霧法的測(cè)試塵源為油霧,“量”為含油霧空氣的濁度,以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對(duì)油霧顆粒的過濾效率。
德國規(guī)定使用石蠟油,油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測(cè)過濾器時(shí),容易對(duì)過濾器造成損傷,且不能直接讀值,浪費(fèi)時(shí)間。
DOP法
這種方法曾經(jīng)是國際上測(cè)試過濾器海綿常用的方法。
它的測(cè)試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也稱為“熱DOP”,“量”為含DOP空氣的渾濁程度。
將DOP液體加熱成蒸汽,蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴,去掉過大和過小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒,進(jìn)入風(fēng)道,通過測(cè)量過濾器前后氣樣的濁度,并由此判斷過濾器對(duì)0.3微米粉塵的過濾效率。
真空設(shè)備檢漏
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣,通常采用靜態(tài)升壓法,即把容器抽到一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開,若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng),可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線也不同
1.直線A
壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化,說明系統(tǒng)即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強(qiáng)期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長(zhǎng)而降低,故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始?jí)簭?qiáng)上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況,則判定系統(tǒng)有漏氣。
企業(yè): 北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司
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