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點(diǎn)可蒸發(fā)任何材料薄膜純度高直接作用于材料表面,表面不銹鋼鍍鈦報(bào)價(jià),熱
缺點(diǎn)電子結(jié)構(gòu)復(fù)雜,金屬不銹鋼鍍鈦報(bào)價(jià),造價(jià)高化合物沉積時(shí)易分解,家具不銹鋼鍍鈦報(bào)價(jià),化學(xué)比失調(diào)
3激光蒸發(fā)鍍膜
采用高能激光束對(duì)材料進(jìn)行蒸發(fā),用以形成薄膜的方法,一般稱為激光蒸鍍。
優(yōu)點(diǎn)薄膜純度高蒸發(fā)速率高特別適合蒸發(fā)成分復(fù)雜的合金或化合物,膜層的化學(xué)計(jì)量比與靶材保持一致
缺點(diǎn)
易產(chǎn)生微小顆粒飛濺,影響薄膜質(zhì)量
電子束蒸發(fā)鍍膜
利用高速電子束加熱使材料汽化蒸發(fā),在基片表面凝結(jié)成膜的技術(shù)。電子束熱源的能量密度可達(dá)104-109w/cm2,可達(dá)到3000℃以上,可蒸發(fā)高熔點(diǎn)的金屬或介電材料如鎢、鉬、鍺、SiO2、AL2O3等。
電子束加熱的蒸鍍?cè)从兄毙碗娮雍蚭型電子兩種(也有環(huán)行),電子束自源發(fā)出,用磁場(chǎng)線圈使電子束聚焦和偏轉(zhuǎn),對(duì)膜料進(jìn)行轟擊和加熱。
企業(yè): 商丘金常來金屬制品有限公司
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