顯微鏡是很多行業(yè)中對產(chǎn)品質(zhì)量和性能檢測的一個重要儀器,它廣泛的應(yīng)用于各個的科學(xué)研究,精細(xì)研磨機(jī),教學(xué)實踐,生產(chǎn)質(zhì)量檢測等領(lǐng)域。一般的顯微測試是基于人工調(diào)節(jié)顯微鏡的對焦系統(tǒng),反復(fù)的手工操作,直到調(diào)到被測對象的正焦位置,這樣一個過程花費時間較長,精細(xì)研磨,效率低,精細(xì)研磨設(shè)備價格,并且,精細(xì)研磨設(shè)備,人員必須在顯微鏡旁邊,不能遠(yuǎn)程調(diào)結(jié)。隨著人們對顯微鏡的自動化、智能化要求的提高,自動對焦技術(shù)的顯得越來越重要了。尤其是有些場和需要人員離開。這就需要一種能夠遠(yuǎn)程快速調(diào)焦的顯微鏡,有的產(chǎn)品用電動Z軸調(diào)焦,電動Z軸的缺點是成本高安裝復(fù)雜,速度慢。不能達(dá)到毫秒級的調(diào)焦,也不能實現(xiàn)復(fù)眼的效果,(即多焦點)。

微光顯微鏡偵測得到亮點之情況:會產(chǎn)生亮點的缺陷 - 漏電結(jié)(Junction Leakage); 接觸毛刺(Co
ntact spiking); (熱電子效應(yīng))Hot electr;閂鎖效應(yīng)( Latch-Up);氧化層漏電( Gate oxide defects / Leakage(F-N current));多晶硅晶須(Poly-silicon filaments); 襯底損傷(Substrate damage); (物理損傷)Mechanical damage等。原來就會有的亮點 - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse;biased diodes(break down) 等。

超聲波掃描顯微鏡特點:非破壞性、對樣品無損壞。分辨率高,可確定缺陷在樣品內(nèi)部的準(zhǔn)確位置。工作方式按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。按掃描方式分可分為 C掃,B掃,X掃,Z掃,分焦距掃描,分波長掃描等多種方式。二次打標(biāo)假l冒識別塑封器件二次打標(biāo)可用于塑封元器件表面標(biāo)識的假l冒識別,通過對期間標(biāo)識層的多層掃描可發(fā)現(xiàn)二次打標(biāo)痕跡。
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