氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，智能系統(tǒng)檢漏，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，充氣柜真空箱系統(tǒng)檢漏，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質譜檢漏儀的應用拓展（四）

（1）制冷行業(yè)

冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

（2）不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（3）其它

據(jù)日本有關文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。

有待于開拓的檢漏領域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經(jīng)費等諸多原因，在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)效率低。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產(chǎn)力的發(fā)展。因此，對于真空技術人員，特別是從事真空設備的研制和生產(chǎn)氦質譜檢漏儀的廠家，應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫，為推動我國真空技術的發(fā)展而努力。

科儀擁有的技術，我們都以質量為本，信譽高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務。如果您對 氦檢漏感興趣，歡迎點擊左右兩側的在線客服，密封性系統(tǒng)檢漏，或撥打咨詢電話。

氦質譜檢漏儀

（1）新的儀器對空氣和殘余氣體的讀數(shù)是零，系統(tǒng)檢漏，僅對示蹤氣體有響應。（2）新的儀器本身也是一個抽速較高的真空系統(tǒng)。（3）儀表的指示能夠反映出漏孔的大小， 漏量的大小。這三點要求實際上構成了研制新型檢漏儀器的準則。在研制過程中， 對傳統(tǒng)的檢漏方法、光譜儀和皮喇尼規(guī)進行了考察。發(fā)現(xiàn)在實際運用中都存在著不少的缺點。當時，明尼蘇達州州立大學的尼爾博士正在研制一種可以記錄分子量和原子量大小的質譜儀。經(jīng)過分析， 雅可比認為如果尼爾博士能夠使儀器簡化， 那么質譜儀將是一種好的選擇性檢漏裝置。當時還論證了新型檢漏裝置的示蹤氣體必須滿足三個要求（1）系統(tǒng)的殘余氣體的質潛中沒有它的譜線。即便儀器處于大氣環(huán)境，這種氣體在儀器中也幾乎不存在。（2）能夠在試驗狀態(tài)下很容易地把它從系統(tǒng)中抽出， 所用的示蹤氣體不會污染系統(tǒng)。（3）分子量低、粘度低、購置方便。顯然，氦氣是滿足這三個要求的理想的氣體。

北京科儀創(chuàng)新技術公司(圖)-密封性系統(tǒng)檢漏-系統(tǒng)檢漏由北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司提供。北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司位于北京市昌平區(qū)南口鎮(zhèn)科儀創(chuàng)新真空技術。在市場經(jīng)濟的浪潮中拼博和發(fā)展，目前科儀創(chuàng)新真空在行業(yè)設備中享有良好的聲譽?？苾x創(chuàng)新真空取得全網(wǎng)商盟認證，標志著我們的服務和管理水平達到了一個新的高度?？苾x創(chuàng)新真空全體員工愿與各界有識之士共同發(fā)展，共創(chuàng)美好未來。