FSCU介紹

FSCU（Flow System Control Unit）是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對高校、研究院、科研型企業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)，F(xiàn)SCU 自動化程度高、于高集成度、數(shù)據(jù)采集。適用于多種氣體、液體自動化控制，在多種應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槠淞可泶蛟斓臍怏w、液體流量控制系統(tǒng)單元，目前大量應(yīng)用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)科研領(lǐng)域。

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體積流量的表示方法

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，流量計(jì)控制模塊廠家，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是，流量計(jì)控制模塊公司， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min），流量計(jì)控制模塊， 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI。

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氣體質(zhì)量流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，流量計(jì)控制模塊哪家好，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

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